供酸設備

SDS-Slurry dispense system
CMS-Chemical mixing system
CDS-Chemical dispense system
Pump car
local supply system
Wet bench

《代表工程》

TSMC 12P6/12P7/15P5/15P6/15P7、TSMC 18P1、MXIC F2、CPT L1、南亞三廠、華邦 6B/6C、華力、武漢新芯

實驗室設備

工作桌
水槽桌
藥品櫃
化學清洗櫃

《代表工程》

TSMC 12P4/15P6/15P7/18P1、美光 A2